Selezione acciaio inossidabile 316L per semiconduttori Gas Filtra per yaang.com per Yane Yang

il continuo aumento di dispositivo a semiconduttore raffinatezza, e la conseguente diminuzione della larghezza delle linee, richiedono componenti puliti in tutta sistemi di erogazione del gas di processo. Gruppi filtro del gas ad alta purezza progettati correttamente sono trasparenti ai componenti omogenee nel flusso di gas, cioè, per rimuovere la contaminazione di particelle con nessun altro effetto sulla purezza del gas in ingresso. Al fine di raggiungere questo obiettivo, le assemblee utilizzati per ospitare i dispositivi di filtraggio sono più spesso costruiti con liscio, pulito e elettrochimica. in acciaio inox 316

"Smooth e pulito" è un termine relativo, che richiede definizione più esplicita. Requisiti di specifica sono stabiliti ogni volta che i limiti di prestazione per gruppi filtro sono ancora chiaramente definiti e misurabili. Ad esempio, il contributo di umidità e rugosità superficiale sono abbastanza ben definiti. Tuttavia, questi criteri sono basati su misurazioni limitate dalla sensibilità della migliore strumentazione disponibile. Al fine di soddisfare questi criteri, i "migliori" materie prime disponibili da cui partire per fabbricare componenti sono spesso specificati. La logica di semplicemente scegliere il miglior materiale segue solo se il materiale risponde in ultima analisi, i previsti i requisiti e se il costruttore gruppo filtro capire quale materiale ; specificazione   proprietà. sono governa

Yaang valuta attentamente tutte le materie prime utilizzate per la fabbricazione di gas a semiconduttori gruppi filtro. Ci sono molte caratteristiche importanti di acciaio inossidabile 316L che devono essere considerati nella progettazione di questi assemblaggi di elevata purezza. Acciaio inossidabile Tipo 316 è una lega ben caratterizzato e compreso. La sua buona resistenza alla corrosione è il risultato sia accurata formulazione dei principali elementi di lega (Fe, Ni, Cr, Mn, Mo) e, così come il controllo di costituenti in tracce critici (C, S e Si). Simile ad altri componenti finiti, gruppi filtro utilizzano acciaio inossidabile che è stato ulteriormente lavorati, vale a dire, laminati, disegnato, lavorato, o saldato.

In questi casi, non è sufficiente solo specificare materiale chimica. Ogni destinazione d'uso dell'acciaio inox può comportare leggera modifica delle specifiche di base, ma i requisiti più comunemente indicato con conseguente multa, finitura superficiale elettrolitica sono:

  • chimica 316L equilibrato

  • austenitica omogenea. . microstruttura

  • pochissime inclusioni

  • bene   grano; struttura

    Materiali Confronto:.. Stainless Steel Bar

    ID HEAT #

    SPEC.- - »N /A

    SA47935439

    TypicalN /A

    VAR Spec.Typ.1ELEMENTAL(%):



    FeBAL.BAL.BAL.Cr16-1817.116-18Ni10-1412.010-14Mo2-32.12-3Mn2*1.7<2Si1.0*0.45≈0.5C0.03*0.020<0.03S0.03*0.0020≤0.005* = Massimo

    ulteriori criteri

    GRANULOMETRIA-5Non Specified2INCLUSION TIPO

    (ASTM E-45) -NUMBERNUMBERSulfides-0.52.03Alumina-003Silicates-02.53Oxides-1.51.53 1 316L VAR non specifica (o provocare) composizione chimica che di prestazioni superiori rispetto SA479 con la celebre eccezione di zolfo ridotto

    2. i valori tipici misurati erano all'interno di una finestra di 5-10. Pagina 3 non specificato. Tipica.

    Indicato Per eliminare vuoti microscopici nella massa fusa, nonché per purificare ulteriormente il metallo riducendo certe impurezze contaminanti, molti acciai inossidabili elevata purezza subiscono un processo di fusione secondario (es vuoto arco di rifusione, nota come VAR) . Questo processo riduce solfuri, silicati, fosfati, allumine, e altre impurità. Di queste impurità, zolfo è il più dannoso per il raggiungimento di multa finishe superficiale (assumendo le altre impurità sono entro i limiti di norma previsti).

    Queste impurità tracce tendono a disturbare ("pausa") la struttura austenitica stabile e la forma inclusioni che sono meno nobile del metallo di base. Quando le inclusioni sono frequenti e di dimensioni molto ridotte, questo non può essere un problema. Tuttavia, quando le superfici molto fini (< 10 micropollici Ra) sono desiderati, tutte le inclusioni si manifestano dopo lucidatura meccanica finale o elettrolitica. È per questo motivo che 100X ispezione microscopica dopo multa lucidatura meccanica è comunemente utilizzato per quantificare il contenuto di inclusioni. Elettrolucidatura accentua spesso i difetti della superficie rimuovendo le inclusioni meno nobili prima, tramite dissoluzione preferenziale nbsp &;.

    Struttura Grano deve essere presa in considerazione quando si sceglie di elevata purezza in acciaio inox. Materiali grana fine sono preferibili in quanto tendono ad essere più omogenea. Come grani crescono (ad esempio durante raffreddamento lento), c'è più tempo per gli interruttori austenite precipitare al bordo dei grani. Questo ha l'effetto di trasformare una dislocazione pulita della struttura (bordo grano "sana") in un sito per inclusioni. Inoltre, i materiali a grana fine condurre corrente elettrica più uniforme. Conduttanza Uniform è una caratteristica importante durante il processo di elettrolucidatura

    Fonte:. Zhejiang Yaang tubo Industry Co., Limited (www.yaang.com)